Yüksək temperatura davamlılıq, korroziyaya davamlılıq, aşınma müqaviməti və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə keramika yüksək temperatur, vakuum və ya aşındırıcı qaz vəziyyətində olan bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında uzun müddət işləyə bilər.