Ənənəvi Al2O3 və BeO substrat materiallarının hərtərəfli performans üstünlükləri ilə birləşən Alüminium Nitrid (AlN) keramikası, yüksək istilik keçiriciliyinə (monokristalın nəzəri istilik keçiriciliyi 275W/m▪k, polikristalın nəzəri istilik keçiriciliyi 70~210W/m▪k), aşağı dielektrik sabitinə, tək kristal silikonla uyğun istilik genişlənmə əmsalına və yaxşı elektrik izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir və mikroelektronika sənayesində dövrə substratları və qablaşdırma üçün ideal bir materialdır. Yaxşı yüksək temperaturlu mexaniki xüsusiyyətləri, istilik xüsusiyyətləri və kimyəvi stabilliyi səbəbindən yüksək temperaturlu struktur keramika komponentləri üçün də vacib bir materialdır.
AlN-in nəzəri sıxlığı 3,26 q/sm3, MOHS sərtliyi 7-8, otaq temperaturunda müqavimət 1016Ωm-dən çox və istilik genişlənməsi 3,5 × 10-6/℃-dir (otaq temperaturu 200℃). Saf AlN keramikaları rəngsiz və şəffafdır, lakin çirklərə görə boz, bozumtul ağ və ya açıq sarı kimi müxtəlif rənglərdə olur.
Yüksək istilik keçiriciliyinə əlavə olaraq, AlN keramika aşağıdakı üstünlüklərə də malikdir:
1. Yaxşı elektrik izolyasiyası;
2. Al2O3 və BeO kimi materiallardan üstün olan silikon monokristal ilə oxşar istilik genişlənmə əmsalı;
3. Al2O3 keramikası ilə yüksək mexaniki möhkəmlik və oxşar əyilmə möhkəmliyi;
4. Orta dielektrik sabiti və dielektrik itkisi;
5. BeO ilə müqayisədə, AlN keramikasının istilik keçiriciliyinə, xüsusən də 200℃-dən yuxarı temperatur daha az təsir göstərir;
6. Yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılıq;
7. Zəhərsiz;
8. Yarımkeçirici sənayesinə, kimya metallurgiya sənayesinə və digər sənaye sahələrinə tətbiq olunmalıdır.
Yazı vaxtı: 14 iyul 2023