Ənənəvi Al2O3 və BeO substrat materiallarının hərtərəfli performans üstünlükləri ilə birlikdə yüksək istilik keçiriciliyinə malik olan Alüminium Nitrid(AlN) keramika (monokristalın nəzəri istilik keçiriciliyi 275W/m▪k, polikristalın nəzəri istilik keçiriciliyi 270m~20mW-dir) ), aşağı dielektrik sabitliyi, tək kristal silisiumla uyğunlaşdırılmış istilik genişlənmə əmsalı və yaxşı elektrik izolyasiya xüsusiyyətləri mikroelektronika sənayesində dövrə altlıqları və qablaşdırma üçün ideal materialdır.O, həmçinin yaxşı yüksək temperatur mexaniki xassələri, istilik xassələri və kimyəvi sabitliyə görə yüksək temperaturlu struktur keramika komponentləri üçün mühüm materialdır.
AlN-nin nəzəri sıxlığı 3,26 q/sm3, MOHS sərtliyi 7-8, otaq temperaturu müqaviməti 1016 Ωm-dən çox, istilik genişliyi isə 3,5×10-6/℃ (otaq temperaturu 200 ℃) təşkil edir.Saf AlN keramika rəngsiz və şəffafdır, lakin çirklərə görə boz, bozumtul ağ və ya açıq sarı kimi müxtəlif rənglərdə olur.
Yüksək istilik keçiriciliyinə əlavə olaraq, AlN keramika aşağıdakı üstünlüklərə malikdir:
1. Yaxşı elektrik izolyasiyası;
2. Al2O3 və BeO kimi materiallardan üstün olan silikon monokristal ilə oxşar istilik genişlənmə əmsalı;
3. Al2O3 keramika ilə yüksək mexaniki möhkəmlik və oxşar əyilmə gücü;
4. Orta dielektrik sabitliyi və dielektrik itkisi;
5. BeO ilə müqayisədə, AlN keramikasının istilik keçiriciliyi temperaturdan daha az təsirlənir, xüsusən də 200℃-dən yuxarı;
6. Yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılıq;
7. Zəhərli olmayan;
8. Yarımkeçirici sənaye, kimya metallurgiya sənayesi və digər sənaye sahələrinə tətbiq olunsun.
Göndərmə vaxtı: 14 iyul 2023-cü il