300 mm lövhə emalı üçün 12 düymlük alüminium ərintisi vakuum çubuğu

St.Cera-nın 12 düymlük vakuum patronu, 300 mm lövhənin idarə olunması üçün 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidindən (Al₂O₃) dəqiqliklə hazırlanmışdır. Patron, bütün 300 mm diametrdə vakuumun vahid paylanmasını təmin etmək üçün incə yivli bir səthə (yiv eni 0,5–1,0 mm, addım 2–3 mm) malikdir. Düzlük 5 μm daxilində saxlanılır ki, bu da doğrama, arxa üyütmə və yoxlama zamanı lövhənin əyilmədən fiksasiyasına imkan verir. Materialın yüksək əyilmə möhkəmliyi (361 MPa) və sərtliyi (16 GPa) təkrarlanan vakuum dövrləri altında belə uzunmüddətli ölçülü sabitliyi təmin edir.

Xüsusiyyətlər (99.8% Al₂O₃ əsasında):

Tətbiqlər:

300 mm-lik lövhələrin doğranması və cızılması
 Lövhənin arxa tərəfinin üyüdülməsi (nazik lövhənin dayağı)
 Optik yoxlama və zondlama
 Müvəqqəti yapışdırma/boğmanın kəsilməsi üçün patronlar

İstehsal:

CNC cilalanmış və son düzlüyə qədər sürtülmüş, almaz təkərlərlə yivlənmiş, ultrasəslə təmizlənmiş və 100-cü sinif təmizlik otağında qablaşdırılmışdır. Hər bir patron düzlük (lazer interferometri) və yiv dərinliyi (profilometr) üçün 100% yoxlanılır.

Üstünlüklər:

 Aşağı hissəcik əmələ gəlməsi (≤0.05 hissəcik/sm²)

 Həlledicilərə və turşulara qarşı kimyəvi cəhətdən inertdir

ESD-təhlükəsiz səth (müqavimət >10¹³ Ω·sm)

Xüsusi vakuum dəlikləri nümunələri və arxa portlar mövcuddur.