Teflon örtüklü keramika uc effektoru – Həssas lövhələrlə işləmək üçün yapışmayan səth
St.Cera-nın Teflon (PTFE) ilə örtülmüş keramika son effektoru yüksək möhkəmlikli alüminium oksidi substratını vahid, aşağı sürtünməli PTFE örtüyü (qalınlığı 15-30 μm) ilə birləşdirir. Örtük, son dərəcə aşağı sürtünmə əmsalı (≤0.1), əla kimyəvi müqavimət və yapışmayan xüsusiyyətlər təmin edir, lövhənin yapışmasının qarşısını alır və arxa çirklənməni aradan qaldırır. Altındakı keramika substratı (99.8% Al₂O₃) yüksək əyilmə möhkəmliyi (361-1000 MPa), aşınma müqaviməti və 260°C-yə qədər istilik stabilliyi təklif edir (örtük limiti). Bu son effektor incə, nazik və ya yapışqan lövhələrlə işləmək üçün idealdır (məsələn, fotorezist örtükdən və ya kimyəvi proseslərdən sonra).
Xüsusiyyətlər (PTFE örtüklü 99.8% Al₂O₃ substratına əsaslanır):
| Əmlak | Dəyər |
| Substrat materialı | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Örtük materialı | PTFE (Teflon) |
| Kaplama qalınlığı | 15–30 μm |
| Sürtünmə əmsalı (örtüklü) | ≤0.1 |
| Substratın Bükülmə Möhkəmliyi (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substrat Sərtliyi (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substrat sıxlığı | 3.93 q/sm³ |
| Maksimum İşləmə Temperaturu (örtük limiti) | 260°C |
| Səthin pürüzlülüyü (örtükdən əvvəl) | Ra ≤0.4 μm |
| Dielektrik Güc (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Qeyd: PTFE örtüyü maksimum temperaturu 260°C ilə məhdudlaşdırır; daha yüksək temperatur tətbiqləri üçün örtüksüz keramika və ya digər örtükləri nəzərdən keçirin.
Tətbiqlər:
- · Fotorezist örtükdən sonra lövhələrin işlənməsi (yapışqan səthlər)
- · Nazik və ya kövrək lövhələrin köçürülməsi (yapışmanın qarşısını alır)
- · Yarımkeçiricilərin yoxlanılması və metrologiya alətləri
- · Hissəciklərin çirklənməsinin minimuma endirilməsi lazım olan təmiz otaq avtomatlaşdırılması
İstehsal prosesi:
Keramika substratı sinterlənmiş və dəqiq üyüdülmüş → səthin kobudlaşdırılması (plazma aşındırması və ya çınqıl partlatması) → PTFE püskürtmə örtüyü → 380°C-də istiliklə bərkimə → son yoxlama. Hər bir son effektor örtük qalınlığına (burulğan cərəyanı), yapışmaya (ASTM D3359 çarpaz kəsmə sınağı) və sürtünmə əmsalına görə yoxlanılır.
Keyfiyyətə Nəzarət:
İğnə dəlikləri və ya qabarcıqlar üçün 100% vizual yoxlama; örtük qalınlığının vahidliyi ±5 μm daxilində; şahid kuponunda 90° əyilmə sınağından sonra delaminasiya yoxdur. Ölçülərin OEM tolerantlığına uyğunluğu yoxlanılır (uzunluq ±0.05 mm, düzlük ≤0.1 mm).
Örtülməmiş və ya digər örtüklərə nisbətən üstünlükləri:
- · Yapışmayan səth lövhənin yapışmasının və qırılmasının qarşısını alır
- · Keramika örtükləri arasında ən aşağı sürtünmə əmsalı
- · Əla kimyəvi müqavimət (turşular, qələvilər, həlledicilər)
- · Maddə ötürülməsinin qarşısını alaraq hissəciklərin əmələ gəlməsini azaldır
Məhdudiyyətlər (maddi sapma ilə bağlı qeydlər):
PTFE örtüyü təqdim olunmuş material xüsusiyyətləri cədvəllərindən (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) əldə edilməyib. Substrat xüsusiyyətləri təqdim olunmuş məlumat vərəqinə (99.8% Al₂O₃) ciddi şəkildə uyğun gəlir. Örtük xüsusiyyətləri sənaye standartı PTFE spesifikasiyalarına əsaslanır, çünki heç bir örtük məlumatı verilməyib. 260°C-dən yuxarı temperaturda tətbiqlər üçün örtülməmiş keramika son effektoru tövsiyə olunur.*
Fərdiləşdirmə:
150–1500 mm uzunluqda, ucluq formalarında (kənar tutacağı, Bernulli, düz), OEM rəsmə uyğun montaj flanş naxışlarında mövcuddur. Qismən örtük (yalnız təmas sahələri) və ya tam örtük isteğe bağlıdır.
Yapışma və sürtünmə testi üçün nümunə tələb edin.
