Fiziki Buxar Çökmə Sistemləri üçün Alüminium PVD İzolyasiya Halqası
St.Cera şirkətinin PVD izolyasiya halqası fiziki buxar çöküntüsü (PVD) sistemlərində istifadə üçün 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidindən (Al₂O₃) istehsal olunur. Halqa kamera komponentləri arasında elektrik izolyasiyası təmin edir, qövsün yaranmasının qarşısını alır və plazmanın sabit işləməsini təmin edir. Əsas xüsusiyyətlərə yüksək dielektrik möhkəmlik (15×10⁶ V/m), xüsusi müqavimət >10¹⁴ Ω·mm²/m və 1600°C-yə qədər istilik stabilliyi daxildir. Dəqiq emal imkanlarımız xarici diametrləri 600 mm-ə qədər, daxili diametrləri 0,2 mm-ə qədər azaltmağa, 0,003 mm düzlüyə və səthi Ra0.1-ə çatır. Halqanın sıfır məsaməliliyi və kimyəvi inertliyi aqressiv püskürtmə mühitlərində uzunmüddətli etibarlılıq təmin edir.
Xüsusiyyətlər (99.8% Al əsasında)₂O₃və St.Cera istehsal imkanları):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Sıxlıq | 3.93 q/sm³ |
| Bükülmə Gücü | 361 MPa |
| Vickers Sərtliyi | 16 GPa |
| Dielektrik Güc | 15×10⁶ V/m |
| Xüsusi Müqavimət | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimum Xarici Diametr | 600 mm |
| Minimum Daxili Diametr | 0,2 mm |
| Maksimum Qalınlıq | 100 mm |
| Düzlük | 0.003 mm |
| Paralellik | 0.002 mm |
| Səthi bitirmə | Ra0.1 |
| Maksimum İşləmə Temperaturu | 1600°C |
Tətbiqlər:
- · PVD sistemlərində hədəf arxa lövhə izolyatorları
- · Kamera keçid izolyatorları
- · Püskürtmə sistemlərində qalxan halqa izolyatorları
- · Plazma kameralarında yüksək gərginlikli izolyasiya
İstehsal Dəqiqliyi:
Konsentriklik: 0.01 mm, dairəvilik: 0.002 mm, düzlük: 0.005 mm, perpendikulyarlıq: 0.005 mm, CMM tərəfindən təsdiqlənmişdir.
APolimer izolyatorlarına nisbətən üstünlüklər:
- · Polimerin <300°C limitinə qarşı 1600°C temperatura davamlıdır
- · Qazın xaric olmasına yol verilmir – vakuumun bütövlüyünü qoruyur
- · Plazma eroziyasına və kimyəvi hücuma davamlıdır
Fərdiləşdirmə:
Xüsusi kəsiklər, montaj xüsusiyyətləri, pilləli profillər və çoxsaylı konsentrik halqa dizaynları mövcuddur.
