Əyri və nazik lövhələrin işlənməsi üçün metal əsaslı məsaməli SiC vakuum çubuğu
St.Cera-nın metal əsaslı keramika vakuum patronu məsaməli silikon karbid (SiC) keramika təbəqəsini dəqiq işlənmiş metal əsasla (alüminium və ya paslanmayan polad) birləşdirir. Məsaməli SiC materialı (mavi-qara, məsaməlilik 35-40%, məsamə ölçüsü 20-30 μm, keçiricilik 60 ml/sm²·dəq) bütün lövhə səthində vahid, yumşaq vakuum paylanması təmin edir, kənar işarələrini aradan qaldırır və nazik (≤100 μm) və ya əyri lövhələr üçün təmassız dəstək təmin edir. SiC təbəqəsi aşağı istilik genişlənməsi (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C-yə qədər istilik sabitliyi və orta əyilmə gücü (32-35 MPa) təklif edir. Metal əsas struktur möhkəmliyi, yivli deşiklər vasitəsilə asan montaj və kövrək sınıqdan qorunma əlavə edir. Bu patron, vahid vakuum və istilik uyğunluğunun vacib olduğu arxa üyütmə, doğrama və yüksək temperaturlu lövhə emalı üçün idealdır.
Xüsusiyyətlər (təqdim olunan məsaməli SiC məlumatlarına əsasən):
| Əmlak | Dəyər |
| Keramika materialı | Məsaməli Silikon Karbid (SiC ≥80%) |
| Rəng | Mavi-qara |
| Məsaməlilik | 35–40% |
| Məsamə ölçüsü | 20–30 μm |
| Sıxlıq | 2.1–2.3 q/sm³ |
| Keçiricilik | 60 ml/sm²·dəq |
| Bükülmə Gücü | 32–35 MPa |
| İstilik Genişlənmə Əmsalı (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum işləmə temperaturu | 1000°C |
| Elektrik Müqaviməti | 10⁻¹⁰ Ω/sm (təqdim olunan məlumatlara görə, məsaməli SiC üçün tipikdir) |
| Metal Baza Materialı | Alüminium 6061 və ya Paslanmayan Polad 304 (isteğe bağlı) |
| Metal Baza Qalınlığı | 10–30 mm (xüsusi) |
Qeyd: Məsaməliliyinə görə əyilmə möhkəmliyi sıx SiC-dən daha aşağıdır. Metal əsas xüsusiyyətləri keramika masalarından deyil.
Tətbiqlər:
- · Nazik lövhələrin arxa tərəfdən üyüdülməsi (≤100 μm)
- · Doğrama üçün əyri lövhə montajı
- · Yüksək temperaturlu lövhənin deşilməsi (1000°C-yə qədər)
- · Məsaməli və ya kövrək substratlar üçün vakuum armaturu
İstehsal:
Məsaməli SiC lövhəsi (məsamə əmələ gətirənlərlə formalaşdırılmış, sinterlənmiş) → ≤10 μm düzlüyə qədər sürtülmüş → vakuum portları və montaj xüsusiyyətləri ilə işlənmiş metal əsas → epoksi yapışdırma və ya mexaniki sıxma → helium sızma sınağı.
Keyfiyyətə Nəzarət:
- · SEM tərəfindən təsdiqlənmiş məsaməlik və məsamə ölçüsü
- · Keçiricilik testi (hava axını)
- · Lazer interferometri ilə ölçülən düzlük
- · Helium sızma sürəti <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Yivli və ya sıx keramika çubuqlarına nisbətən üstünlükləri:
- · Plitənin işarələnməsi yoxdur – ayrı-ayrı dəlikləri olmayan vahid vakuum
- · Özünü təmizləyən məsamələr – tıxanmanın azalması
- · Əyri lövhələri (500 μm-ə qədər yay) idarə edir
- · Metal baza kövrək qırılmanın qarşısını alır və inteqrasiyanı asanlaşdırır
Məhdudiyyətlər:
- · Daha aşağı əyilmə gücü (32–35 MPa) – zərbə yükündən qaçın
- · İşləmə temperaturu 1000°C (məsaməli SiC) ilə məhdudlaşır, lakin mexaniki olaraq sıxılmadığı təqdirdə metal əsaslı epoksid birləşmə ≤200°C ilə məhdudlaşır
- · Yüksək təzyiqli vakuum üçün deyil (məsaməli struktur maksimum vakuum diferensialını məhdudlaşdırır)
Fərdiləşdirmə:
- · Metal baza: alüminium (yüngül), paslanmayan polad (korroziyaya davamlı), İnvar (aşağı genişlənmə)
- · Yapışdırma: epoksi (≤200°C) və ya mexaniki sıxac (500°C-yə qədər)
- · Zona vakuum nəzarəti üçün kənar möhürləyici halqa
Diqqət: Təqdim olunan əyilmə möhkəmliyi (32–35 MPa) məsaməliliyinə görə sıx keramikadan xeyli aşağıdır. Kənarlarının qırılmasının qarşısını almaq üçün ehtiyatla işləyin.
