ST.CERA Xüsusi Yarımkeçirici Seramik Fokus Halqası
Yüksək təmizlikli (99,5%-dən yuxarı) alüminium oksidli keramikadan hazırlanan, soyuq izostatik presləmə yolu ilə əmələ gələn və yüksək temperatur altında sinterlənən, sonra dəqiq emal və cilalanmış keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər.
Yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşınma müqaviməti və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
