Alüminium əsaslı standart vakuum paqı – Dəqiq emal üçün yüksək sərtlik
Bu alüminium oksidi əsaslı vakuum patronu 99,8% Al₂O₃-dan istehsal olunur və xüsusi vakuum yiv naxışları ilə hamar, məsaməli olmayan bir səth təqdim edir. O, müstəsna möhkəmlik (Yanq modulu 380 GPa) və düzlük (≤3 μm) təmin edir ki, bu da onu yarımkeçirici lövhələrin və optik komponentlərin dəqiq üyüdülməsi, sürtülməsi və doğranması üçün ideal edir. Materialın yüksək istilik keçiriciliyi (32 Vt/m·k) emal zamanı temperaturun vahidliyini təmin edir.
Xüsusiyyətlər(99.8% Al əsasında)₂O₃):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Sıxlıq | 3.93 q/sm³ |
| Bükülmə Gücü | 361 MPa |
| Vickers Sərtliyi | 16 GPa |
| Gəncin Modulu | 380 GPa |
| İstilik keçiriciliyi | 32 Vt/m·k |
| Düzlük | ≤3 μm (200 mm-dən çox) |
| Səthin pürüzlülüyü (çak tərəfi) | Ra ≤0.4 μm |
| Maksimum İşləmə Temperaturu | 800°C |
Tətbiqlər:
- · Plitənin arxa tərəfinin üyüdülməsi (kobud və incə)
- · Kövrək materialların dəqiq doğranması
- · Keramika substratlarının sürtülməsi
- · Optik linzaların cilalanması
İstehsal:
Hər iki tərəfin dəqiq şəkildə çırpılması → almaz oyma (isteğe bağlı) → kənarların yuvarlaqlaşdırılması → ultrasəs təmizləmə → lazer interferometri ilə 100% düzlük yoxlaması.
Aüstünlükləri:
- · Sərt dayaq yük altında əyilməni minimuma endirir
- · Məsaməli quruluşdan hissəcik əmələ gəlmir
- · Təmizlənməsi asandır (həlledici ilə silmək üçün uyğundur)
- · Özelleştirilebilir vakuum yivləri (konsentrik, radial, xüsusi naxışlar)
Mövcud Ölçülər:
Dəyirmi: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; kvadrat/düzbucaqlı, istəyə görə.
Daha yüksək mexaniki möhkəmlik üçün metal əsaslı versiyalar da təklif edirik.
