Plazma Aşındırma və Ürək-Dərman Sistemləri üçün Yüksək Saflıqlı Alüminium Oksid Kamerası Fokus Halqası
St.Cera-nın kamera fokus halqası plazma aşındırma, CVD və PVD yarımkeçirici avadanlıqlarında istifadə olunan vacib bir proses dəsti komponentidir. 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidindən (Al₂O₃) istehsal olunan halqa, plazmanı məhdudlaşdırmaq və ion bucaq paylanmasını optimallaşdırmaq üçün lövhə kənarını əhatə edir və bununla da lövhə səthində aşındırma vahidliyini artırır. Material müstəsna plazma müqaviməti, yüksək dielektrik möhkəmlik (15 × 10⁶ V/m) və 1600°C-yə qədər istilik stabilliyi təklif edir, aqressiv flüor və ya xlor əsaslı plazma mühitlərində uzunmüddətli etibarlılığı təmin edir. Dəqiq torpaqlama ID/OD və düzlük (≤10 μm) lövhə kənarının dəqiq yerləşdirilməsini təmin edir, kənar qüsurlarını və hissəciklərin əmələ gəlməsini azaldır.
Xüsusiyyətlər(99.8% Al əsasında)₂O₃):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Sıxlıq | 3.93 q/sm³ |
| Suyun udulması | 0% |
| Bükülmə Gücü | 361 MPa |
| Sınıq Davamlılığı | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers Sərtliyi | 16 GPa |
| Gəncin Modulu | 380 GPa |
| İstilik keçiriciliyi | 32 Vt/m·k |
| İstilik Genişlənməsi (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrik Güc | 15×10⁶ V/m |
| Xüsusi Müqavimət | >10¹⁴ Ω·sm |
| Maksimum işləmə temperaturu | 1600°C |
Tətbiqlər:
- · Dielektrik aşındırma kamerası fokus halqaları (oksid, nitrid aşındırma)
- · Silikon aşındırma kamerasının kənar halqaları
- · CVD kamerası proses dəsti halqaları
- · PVD kamera qalxanı və sıxac halqaları
İstehsal prosesi:
Yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozu izostatik preslənir → yaşıl rəngdə emal olunur və tor formasına yaxın hala gətirilir → 1600°C-də sinterlənir → ID, OD və qalınlığın CNC almaz üyüdülməsi → ≤10 μm düzlük əldə etmək üçün sürtünmə → ultrasəs təmizləmə → 100% CMM yoxlaması. Səth örtüyü Ra ≤0.4 μm hissəciklərin yapışmasını minimuma endirir.
Keyfiyyətə Nəzarət:
- · 100% ölçülü yoxlama (ID, OD, qalınlıq, paralellik)
- · Mikro çatlar üçün boya nüfuzetmə testi (çatlara icazə verilmir)
- · 20x mikroskop altında vizual yoxlama — qırıntılar, boşluqlar və ya rəng dəyişikliyi yoxdur
- · ASTM D149 standartına uyğun olaraq dielektrik möhkəmlik testi (nümunə götürmə)
Silikon və ya kvars fokus halqalarına nisbətən üstünlükləri:
- · Flüorkarbon plazmasında 5–10 dəfə daha uzun ömür müddəti
- · Plitələri çirkləndirmək üçün istehlak olunan eroziya hissəcikləri yoxdur
- · Daha yüksək dielektrik gücü qövsün yaranmasının qarşısını alır
- · Minlərlə RF saatı ərzində düzlük və ölçülü dəqiqliyi qoruyur
Alternativ Material — Yttria ilə Stabilləşdirilmiş Zirkon (ZrO₂):
Daha yüksək sınıq davamlılığı tələb edən tətbiqlər üçün (məsələn, tez-tez istilik dövriyyəsi və ya mexaniki şok olan kameralar) ZrO₂ fokus halqaları (sıxlığı 6,03 q/sm³, əyilmə möhkəmliyi 1000 MPa, sınıq davamlılığı 5–8 MPa·m¹/²) mövcuddur. Bununla belə, alüminium oksidi daha yaxşı xərc səmərəliliyi təklif edir və əksər fokus halqaları tətbiqləri üçün sənaye standartıdır.
Fərdiləşdirmə:
- · Müştərinin rəsminə əsasən pillə profilləri, tezgah dəlikləri və ya montaj dəlikləri
- · Plazma eroziyasına qarşı müqaviməti artırmaq üçün Y₂O₃ örtük (qalınlığı 20–100 μm)
- · Hissə nömrəsinin, tarix kodunun və ya hizalanma işarələrinin lazerlə işarələnməsi
Qeyd:Bütün məlumatlar təqdim olunmuş Al₂O₃ xüsusiyyətlər cədvəlinə ciddi şəkildə uyğundur. ZrO₂ spesifikasiyaları üçün təqdim olunmuş sirkonium məlumat vərəqinə baxın. Fokus halqası dizaynları patent təsdiqini tələb edə bilər — müştərilər əqli mülkiyyət hüquqlarının yoxlanılmasına görə məsuliyyət daşıyırlar.
