Yüksək Temperaturlu Kamera Mühürləməsi üçün Yüksək Saflıqlı Alüminium Keramika Mühür Halqası
St.Cera-nın keramika möhürləyici halqası, elastomerlərin parçalandığı ekstremal mühitlərdə polimer O-halqalarına alternativ olaraq hazırlanmışdır. 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidindən (Al₂O₃) istehsal olunan bu sərt möhürləyici halqa, 800°C-yə qədər temperaturda və aqressiv plazma və ya kimyəvi mühitlərdə etibarlı vakuum və ya qaz saxlama təmin etmək üçün adətən yumşaq metal və ya qrafit contası ilə birləşdirilərək statik möhürləmə tətbiqlərində istifadə olunur. Material sıfır qaz çıxışı, yüksək sıxılma gücü (əsas əyilmə gücü 361 MPa) və kimyəvi inertlik (HF istisna olmaqla, halogenlərə, turşulara və qələvilərə davamlılıq) təklif edir. Dəqiq örtüklü möhürləyici səthlər (düzlük ≤5 μm, səth pürüzlülüyü Ra ≤0,2 μm) birləşən metal və ya keramika komponentləri ilə sızmaya davamlı təmas təmin edir.
Xüsusiyyətlər(99.8% Al əsasında)₂O₃):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Sıxlıq | 3.93 q/sm³ |
| Suyun udulması | 0% |
| Bükülmə Gücü | 361 MPa |
| Sıxılma gücü (təxmini) | >2000 MPa |
| Vickers Sərtliyi | 16 GPa |
| İstilik Genişlənməsi (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum işləmə temperaturu | 800°C (hava), 1600°C (inert) |
| Səth örtüyü (möhürləyici üz) | Ra ≤0.2 μm (ətraflı) |
| Düzlük (25 mm üçün) | ≤5 μm |
| Helium Sızma Sürəti | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (uyğun conta ilə) |
Tətbiqlər:
- · Yarımkeçirici proses kamerasının statik möhürləri (CVD, PVD, aşındırma)
- · Yüksək temperaturlu soba qapısı möhürləri
- · Vakuumlu flanşlar
- · Kimyəvi reaktor gəmilərinin bağlanması
İstehsal prosesi:
İzostatik presləmə → 1600°C-də sinterləmə → ultra düz, hamar möhürləmə səthlərinə nail olmaq üçün dəqiq iki tərəfli sürtmə → kənarların yivlənməsi → ultrasəs təmizlənməsi. Hər bir halqa standart metal contalı helium sızma detektorunda 100% sızma testindən keçirilir.
Keyfiyyətə Nəzarət:
- · CMM ölçülü yoxlaması (ID, OD, qalınlıq, paralellik)
- · Ra və dalğalılıq üçün səth profilometri
- · Optik düzlükdən istifadə edərək düzlük ölçülməsi
- · Helium sızması testi (geri təzyiq metodu)
Polimer O-halqalara nisbətən üstünlükləri:
- · FFKM üçün <300°C-yə qarşı 800°C-yə dözür
- · Sıfır qaz çıxışı — vakuum mühitinin çirklənməsi yoxdur
- · Bütün plazma kimyəvi maddələrinə (flüor, xlor, oksigen) davamlıdır
- · Sıxılma və ya daimi deformasiya yoxdur
- · Təmiz mühitlərdə limitsiz xidmət müddəti
Məhdudiyyətlər (Tənqidi Qeydlər):
- · O-halqa deyil— möhürlənməsi üçün yumşaq bir conta (mis, alüminium və ya qrafit) tələb edən sərt bir keramika halqasıdır.
- · Dinamik hərəkətə və ya böyük flanş səhvliyinə uyğun gəlmir.
- · Polimer O-halqalarından daha yüksək ilkin xərc, lakin daha uzun ömür müddəti sahiblik xərclərini azaldır.
- · Kövrək — ehtiyatla işləyin; nöqtəvi zərbədən və ya əyilmə gərginliyindən qaçının.
Qeyd:Yuxarıdakı məlumatlar təqdim olunmuş Al₂O₃ xüsusiyyət cədvəlinə ciddi şəkildə uyğundur. Elastomer materiallar üçün heç bir məlumat verilməyib. Bu məhsul elastomer O-halqa deyil, statik möhürləyici halqadır. Zəhmət olmasa, bunun tətbiq tələblərinizə cavab verib-vermədiyini təsdiqləyin.
