Yüksək Temperaturlu və Plazma Mühitləri üçün Silikon Karbid (SiC) Əsaslı Vakuum Çakırı
St.Cera-nın SiC əsaslı keramika patronu yüksək təmizlikli silikon karbiddən (partiya S1111, SiC 99.72%, sərbəst Si 0.05%) istehsal olunur. O, 449 MPa ölçülmüş əyilmə möhkəmliyi, 3.12 MPa·m¹/² qırılma möhkəmliyi və 457 GPa elastiklik modulu təmin edir. Materialın tipik istilik keçiriciliyi (120–150 Vt/m·K) və aşağı istilik genişlənməsi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) istilik dövrü zamanı sürətli temperatur artımına və lövhənin minimal əyilməsinə imkan verir. Patron məsaməli vakuum patronu (vahid qaz axını) və ya yivli standart patron kimi konfiqurasiya edilə bilər. Maksimum istifadə temperaturu 1600–1700°C (yüksüz) və müstəsna plazma eroziyasına davamlılığı ilə bu patron yüksək temperaturlu lövhə emalı (tavlama, RTP) və alüminium oksid patronlarının parçalandığı aqressiv aşındırma kameraları üçün idealdır.
Xüsusiyyətlər(təqdim olunmuş SiC S1111 test hesabatına və tipik dəyərlərə əsaslanır)):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | SiC (99.72% SiC, 0.05% Sərbəst Si) |
| Sıxlıq | 3.10–3.15 q/sm³ |
| Suyun udulması | 0% |
| Bükülmə Gücü | 449 MPa |
| Sınıq Davamlılığı | 3.12 MPa·m¹/² |
| Elastik Modul | 457 GPa |
| Vickers Sərtliyi | 25–28 GPa |
| İstilik keçiriciliyi | 120–150 Vt/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum İstifadə Temperaturu (yüksüz) | 1600–1700°C |
| Düzlük (300 mm-dən çox) | ≤5 μm |
| Səthi bitirmə | Ra ≤0.4 μm (döşəmə ilə örtülmüş) |
Tətbiqlər:
● Yüksək temperaturda yumşalma (tavlama, RTP, epitaksial böyümə)
● Yüksək flüor müqavimətinə malik plazma aşındırma patronu
● Vahid isitmə/soyutma ilə nazik lövhə ilə işləmə
● Təmassız lövhə dəstəyi üçün məsaməli patron
İstehsal:
SiC sinterləmə → düzlüyün və səth profilinin dəqiq üyüdülməsi → isteğe bağlı məsaməli struktur əmələ gəlməsi (vakuum patronu üçün) → sürtmə → ultrasəs təmizləmə. Hər patron düzlük (lazer interferometri) və vakuum vahidliyi (axın testi) üçün 100% yoxlanılır.
Keyfiyyətə Nəzarət:
● CMM ölçülü yoxlama (diametr, qalınlıq, dəlik mövqeləri)
● ASTM-ə uyğun olaraq düzlük ölçülməsi
● Helium sızması testi (vakuum patronları üçün)
● Hər partiya üçün əyilmə gücünün yoxlanılması (test hesabatına istinad)
Alüminium çubuqlarla müqayisədə üstünlüklər:
● Daha yüksək istilik keçiriciliyi (alüminium oksidi üçün 32 Vt/m·K-yə qarşı 120–150) – 4 dəfə daha sürətli istilik ötürülməsi
● Daha aşağı CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – lövhənin istilik gərginliyini azaldır
● Üstün plazma müqaviməti – flüor aşındırmasında 10 dəfə daha uzun ömür müddəti
● Daha yüksək maksimum istifadə temperaturu (alüminium oksidi üçün 1600°C və 800°C)
Fərdiləşdirmə:
● Məsaməli və ya yivli səth
● Diametri 100–450 mm, dəyirmi və ya kvadrat
● Kənar möhürləyici halqa və ya zona vakuum arakəsmələri
● Yüksək sərtlikli montaj üçün metal arxa seçim
Yuxarıdakı bütün mexaniki məlumatlar təqdim olunmuş sınaq hesabatından (dəstə S1111) əldə edilir. İstilik və sərtlik dəyərləri bu SiC dərəcəsi üçün tipikdir. Məsaməli SiC patronları əlavə emal tələb edir; xüsusi məsaməlilik və məsamə ölçüsü üçün mövcudluğu barədə məlumat əldə edin.
