Dəqiq Doğrama və Üyüdülmə üçün Alüminium Vakuum Çak
St.Cera-nın alüminium oksidi vakuum patronu, dəqiq işlənmiş vakuum yivləri ilə 99,8% yüksək təmizlikli Al₂O₃-dan istehsal olunur. Dəqiq üyütmə qabiliyyətimiz 0,003 mm düzlük və 0,002 mm paralellik əldə edir, doğrama, arxa üyütmə və yoxlama zamanı əyilmədən lövhə fiksasiyasını təmin edir. Material yüksək əyilmə gücü (361 MPa), sərtlik (16 GPa) və 800°C-yə qədər istilik stabilliyi təklif edir. Xarici diametri 600 mm-ə qədər dəyirmi formatlarda (OD) və uzunluğu 1500 mm-ə qədər düzbucaqlı formalarda mövcuddur. Vakuum yivləri xüsusi proses tələblərinə uyğun olaraq xüsusi dizayn edilmişdir (konsentrik, radial və ya şəbəkə naxışları). Hər bir patron lazer interferometri ilə yoxlanılır və düzlük yoxlama hesabatı ilə təmin edilir.
Xüsusiyyətlər (99.8% Al əsasında)₂O₃və St.Cera istehsal imkanları):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Alüminium oksidi (Fil sümüyü) |
| Sıxlıq | 3.93 q/sm³ |
| Bükülmə Gücü | 361 MPa |
| Vickers Sərtliyi | 16 GPa |
| Xarici diametr (maks.) | 600 mm |
| Qalınlıq (maksimum) | 100 mm |
| Uzunluq (maksimum) | 1500 mm |
| Düzlük | 0.003 mm |
| Paralellik | 0.002 mm |
| Səthi bitirmə | Ra0.1 |
| Maksimum İşləmə Temperaturu | 800°C |
Tətbiqlər:
- · Vaflinin doğranması və cızılması (200 mm/300 mm və daha böyük)
- · Nazik lövhələrin arxa tərəfdən üyüdülməsi
- · Optik yoxlama və zondlama
- · Böyük substratla işləmə
İstehsal Dəqiqliyi:
- · Düzlük: 0.005 mm
- · Perpendikulyarlıq: 0.005 mm
- · Dəyirmilik: 0.002 mm
- · Konsentriklik: 0.01 mm
