-
Vafli İşləməsi üçün Yüksək Saflıqlı Alüminium Seramik Robot Qolu
St.Cera-nın alüminium oksidi keramika robot qolu 99,8% yüksək təmizlikli Al₂O₃ (alüminium oksidi) materialından dəqiqliklə hazırlanmışdır. O, müstəsna əyilmə möhkəmliyini (361 MPa), yüksək sərtliyi (16 GPa) və aşağı sıxlığı (3,93 q/sm³) birləşdirir və nəticədə yarımkeçirici lövhə ötürülməsi üçün yüngül, lakin sərt bir qolu əldə edir. Materialın istilik genişlənmə əmsalı (7,2 × 10⁻⁶/°C) silikonla yaxından uyğunlaşır və emal zamanı istilik uyğunsuzluğunu minimuma endirir.
-
Bernoulli Keramika Uc Effektoru — Nazik və Kövrək Vaflilər üçün Təmassız Vafli İşləməsi
St.Cera-nın Bernoulli keramika son effektoru, fiziki təmas olmadan lövhələri idarə etmək üçün aerodinamik qaldırıcıdan istifadə edir. Yüksək təmizlikli 99,8% alüminium oksidindən (Al₂O₃) və ya silikon karbiddən (SiC) istehsal olunan bu cihaz, son effektorla lövhə arasında nazik hava təbəqəsi yaratmaq üçün təzyiqli qaz buraxan dəqiq işlənmiş burunlara malikdir. Bu təmassız prinsip arxa çirklənməni, kənarların qırılmasını və səth zədələnməsini aradan qaldırır və bu da onu nazik (≤100 μm), kövrək və ya əyri lövhələr üçün ideal edir. Keramika substratı yüksək əyilmə möhkəmliyi (Al₂O₃ üçün 361 MPa; SiC üçün 550–600 MPa-ya qədər), aşağı kütlə və əla ölçülü sabitlik təmin edir və yüksək sürətli lövhə ötürmə robotlarında təkrarlana bilən yerləşdirməni təmin edir.
-
Teflon örtüklü keramika uc effektoru – Həssas lövhələrlə işləmək üçün yapışmayan səth
St.Cera-nın Teflon (PTFE) ilə örtülmüş keramika son effektoru yüksək möhkəmlikli alüminium oksidi substratını vahid, aşağı sürtünməli PTFE örtüyü (qalınlığı 15-30 μm) ilə birləşdirir. Örtük, son dərəcə aşağı sürtünmə əmsalı (≤0.1), əla kimyəvi müqavimət və yapışmayan xüsusiyyətlər təmin edir, lövhənin yapışmasının qarşısını alır və arxa çirklənməni aradan qaldırır. Altındakı keramika substratı (99.8% Al₂O₃) yüksək əyilmə möhkəmliyi (361-1000 MPa), aşınma müqaviməti və 260°C-yə qədər istilik stabilliyi təklif edir (örtük limiti). Bu son effektor incə, nazik və ya yapışqan lövhələrlə işləmək üçün idealdır (məsələn, fotorezist örtükdən və ya kimyəvi proseslərdən sonra).
