Yarımkeçirici Proses Qurğuları üçün Keramik Dəstəkləyici Sancaq
St.Cera-nın keramika dayaq sancaqları (həmçinin qaldırıcı sancaqlar və ya dayaq sancaqları kimi tanınır) yarımkeçirici proses kameralarında lövhələri və ya substratları işləmə, qızdırma və ya soyutma zamanı qaldırmaq üçün istifadə olunur. 99,8% alüminium oksidi və ya silikon nitriddən hazırlanan bu sancaqlar yüksək sıxılma gücü, istilik stabilliyi və kimyəvi müqavimət təklif edir. Yarımkürəvi və ya düz uclu dizayn lövhənin cızılmasının qarşısını alır.
Xüsusiyyətlər(Alüminium oksidi 99.8%):
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Al₂O₃ və ya Si₃N₄ |
| Uzunluq | 10 – 100 mm |
| Diametr | 1 – 10 mm |
| Uc Forması | Düz, yarımkürəvi, sivri |
| Sıxılma Gücü (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimum İşləmə Temperaturu (Al₂O₃) | 1600°C |
| Səthi bitirmə | Döşənmiş (Ra ≤0.4 μm) |
| Diametrə Dözümlülük | ±0.01 mm |
Tətbiqlər:
CVD/PVD kameralarında qaldırıcı sancaqlar
İsti plitə bişirmək üçün dayaq sancaqları
Zond kartı dəstək strukturları
Kvars sobası qayıq dayaqları
İstehsal:
OD-nin dəqiq mərkəzsiz üyüdülməsi → uc profilinin almaz üyüdülməsi → ultrasəs təmizləmə → 100% ölçülü yoxlama.
Keyfiyyətə Nəzarət:
Uzunluq/diametr üçün CMM, uc radiusu üçün optik müqayisə aparatı, sıxılma gücünü yoxlamaq üçün yük sınağı (hər partiya üçün təsadüfi nümunə). Ferromaqnit çirklənməsi yoxdur (maqnitlə təsdiqlənib).
Metal və ya kvars sancaqlarına nisbətən üstünlükləri:
Paslanmayan poladdan 5 dəfə daha uzun ömür
Proses kamerasında metal çirklənməsi yoxdur
Kvarsdan daha yüksək temperatur qabiliyyəti (1600°C vs 1100°C)
Yapışmayan səth (zərrəciklərin yapışmasını azaldır)
Fərdiləşdirmə:
Çoxlu uclu profillər, yivli baza və ya konik mil.
Biz həmçinin ekstremal plazma mühitləri üçün SiC pinləri də təmin edirik.
