CVD/PVD Duş Başlığı üçün Alüminium Qaz Paylama Plitəsi
St.Cera şirkətinin qaz paylama lövhəsi (duş başlığı) yüksək təmizlikli 99,8% alüminium oksid keramikadan dəqiqliklə hazırlanmışdır. O, CVD, PVD və ya ALD prosesləri zamanı lövhə səthində vahid qaz axını təmin edən bir sıra mikro dəliklərə (diametri 0,3–1,5 mm) malikdir. Lövhənin yüksək dielektrik möhkəmliyi (>15×10⁶ V/m) və plazma müqaviməti onu yarımkeçirici nazik təbəqə çöküntüsü üçün vacib edir.
Xüsusiyyətlər:
| Əmlak | Dəyər |
| Material | 99.8% Al₂O₃ və ya SiC |
| Diametr | 100 – 1500 mm (dəyirmi) və ya düzbucaqlı |
| Qalınlıq | 5 – 20 mm |
| Çuxur diametri | 0.3 – 1.5 mm |
| Çuxur Nümunəsi | Xüsusi (üçbucaqlı, kvadrat, radial) |
| Düzlük | Tam sahə üzərində ≤10 μm |
| Səthin Kobudluğu | Ra ≤0.6 μm (qaz tərəfi) |
| Açıq Sahə Nisbəti | 5–15% |
Tətbiqlər:
PECVD duş başlığı lövhələri
ALD qaz injektorları
Aşındırma kamerası qaz paylama lövhələri
MOCVD reaktor komponentləri
İstehsal:
Alüminium oksidi substratı düz şəkildə üstü örtülmüş → Almaz örtüklü alətlərlə CNC qazma (dəlik mövqeyinə tolerantlıq ±0.02 mm) → çubuqların təmizlənməsi → ultrasəs təmizləmə → 100-cü sinif qablaşdırma.
Keyfiyyətə Nəzarət:
Hər lövhə dəlik ölçüsünə (görmə sistemi), düzlüyə (lazer interferometri) və qaz axınının vahidliyinə (təzyiq xəritələşdirməsinə) görə 100% yoxlanılır. 20x mikroskop altında mikro çatlar yoxdur.
Metal lövhələrə nisbətən üstünlükləri:
Nazik təbəqələrdə metal çirklənməsi yoxdur
Daha aşağı hissəcik əmələ gəlməsi (korroziya lopaları yoxdur)
Aqressiv təmizləyici plazmalara (CF₄, NF₃) davamlıdır
Xüsusi Xüsusiyyətlər:
Arxa qaz kanalları, əks qazma dəlikləri, kənar möhürlər və müxtəlif material dərəcələri (daha yüksək istilik keçiriciliyi üçün SiC, plazma müqaviməti üçün Y₂O₃ örtük).
İstehsaldan əvvəl CAD yoxlaması və axın simulyasiyası təmin edirik.
