-
Alüminium Yüksək Həssaslıqlı Keramika Üzüklü Keramika Hissələri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
ST.CERA Xüsusi Yarımkeçirici Avadanlıqlar Keramik Çakırları
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Silikon Karbid (SiC) Keramik Son Effektoru – Yüksək Temperaturlu Plitələrin İşlənməsi üçün Yüksək Sərtlik
St.Cera-nın SiC keramika son effektoru, S1111 seriyalı materialdan istifadə edərək yüksək təmizlikli silikon karbiddən (SiC tərkibi 99.72%, sərbəst Si 0.05%) istehsal olunur. O, müstəsna mexaniki xüsusiyyətlər təklif edir: əyilmə möhkəmliyi 449 MPa (ölçülmüş), elastiklik modulu 457 GPa (ölçülmüş) və Vickers sərtliyi 25–28 GPa (tipik). Aşağı sıxlıq (tipik olaraq 3.10–3.15 q/sm³) yüksək sürətli lövhə ötürmə robotları üçün ideal olan yüksək xüsusi sərtlik təmin edir. 120–150 Vt/m·K (tipik) istilik keçiriciliyi və 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipik) istilik genişlənmə əmsalı ilə bu son effektor yüksək temperaturda işləmə zamanı (1600–1700°C-yə qədər, yük olmadan) istiliyi effektiv şəkildə yayır və ölçülü sabitliyi qoruyur. Qara/boz rəng və sıfır su udma qabiliyyəti təmiz otaq uyğunluğunu təmin edir.
-
Yüksək Temperaturlu və Plazma Mühitləri üçün Silikon Karbid (SiC) Əsaslı Vakuum Çakırı
St.Cera-nın SiC əsaslı keramika patronu yüksək təmizlikli silikon karbiddən (partiya S1111, SiC 99.72%, sərbəst Si 0.05%) istehsal olunur. O, 449 MPa ölçülmüş əyilmə möhkəmliyi, 3.12 MPa·m¹/² qırılma möhkəmliyi və 457 GPa elastiklik modulu təmin edir. Materialın tipik istilik keçiriciliyi (120–150 Vt/m·K) və aşağı istilik genişlənməsi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) istilik dövrü zamanı sürətli temperatur artımına və lövhənin minimal əyilməsinə imkan verir. Patron məsaməli vakuum patronu (vahid qaz axını) və ya yivli standart patron kimi konfiqurasiya edilə bilər. Maksimum istifadə temperaturu 1600–1700°C (yüksüz) və müstəsna plazma eroziyasına davamlılığı ilə bu patron yüksək temperaturlu lövhə emalı (tavlama, RTP) və alüminium oksid patronlarının parçalandığı aqressiv aşındırma kameraları üçün idealdır.
-
Yarımkeçirici Avadanlıqlar Keramika Ehtiyat Hissələri Keramika Daşıyıcıları
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Yüksək Sərtlikli Çaplama Tətbiqləri üçün Metal Əsaslı Alüminium Oil Keramika Üyüdücü Halqa
St.Cera-nın metal əsaslı alüminium oksidi üyütmə halqası yüksək təmizlikli alüminium oksidi (99,8% Al₂O₃) keramika aşınma təbəqəsini dəqiq işlənmiş metal arxa hissə (adətən alüminium və ya paslanmayan polad) ilə birləşdirir. Bu hibrid dizayn, üyütmə səthində keramikanın müstəsna aşınma müqavimətini və kimyəvi inertliyini təmin edir, metal əsas isə mexaniki möhkəmlik, asan montaj və kövrək sınığa qarşı müqavimət əlavə edir. Alüminium oksidi təbəqəsi 361 MPa əyilmə möhkəmliyi, 16 GPa Vickers sərtliyi və 800°C-yə qədər istilik sabitliyi təklif edir. Metal əsas, sürtmə maşınlarına, planetar üyütmə maşınlarına və CMP avadanlıqlarına inteqrasiya üçün montaj dəlikləri, yerləşdirmə sancaqları və ya maqnit xüsusiyyətləri ilə fərdiləşdirilir.
-
Yarımkeçirici Zond Stansiyası Avadanlıqları üçün Seramik Ehtiyat Hissələri
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
Al2O3 Keramik Vafli Çakının Xüsusi Emalı
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
ST.CERA Xüsusi Yarımkeçirici Avadanlıq Seramik Plitə
Soyuq izostatik presləmə və yüksək temperatur altında sinterləmə yolu ilə formalaşdırılan, daha sonra dəqiq emal və cilalama yolu ilə hazırlanan keramika ehtiyat hissələri aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, aşağı istilik genişlənməsi və izolyasiya xüsusiyyətləri ilə yarımkeçirici avadanlıqların istənilən ciddi tələblərinə cavab verə bilər. Keramika uzun müddət yüksək temperatur, vakuum və ya korroziyalı qaz şəraitində bir çox növ yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında işləyə bilər.
Soyuq izostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq işləmə ilə işlənmiş yüksək təmizlikli alüminium oksidi tozundan hazırlanmış bu material, ölçü tolerantlığına ±0.001 mm, səth örtüyü Ra 0.1, temperatur müqavimətinə 1600℃ çata bilər.
-
300 mm lövhə emalı üçün 12 düymlük alüminium ərintisi vakuum çubuğu
St.Cera-nın 12 düymlük vakuum patronu, 300 mm lövhənin idarə olunması üçün 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidindən (Al₂O₃) dəqiqliklə hazırlanmışdır. Patron, bütün 300 mm diametrdə vakuumun vahid paylanmasını təmin etmək üçün incə yivli bir səthə (yiv eni 0,5–1,0 mm, addım 2–3 mm) malikdir. Düzlük 5 μm daxilində saxlanılır ki, bu da doğrama, arxa üyütmə və yoxlama zamanı lövhənin əyilmədən fiksasiyasına imkan verir. Materialın yüksək əyilmə möhkəmliyi (361 MPa) və sərtliyi (16 GPa) təkrarlanan vakuum dövrləri altında belə uzunmüddətli ölçülü sabitliyi təmin edir.
-
İnteqrasiya olunmuş Vakuum Kanalları ilə Alüminium Oksidli Keramika Son Effektoru
St.Cera-nın alüminium oksidi vakuum uc effektoru dəqiq işlənmiş vakuum kanallarını və emiş dəliklərini birbaşa 99,8% yüksək təmizlikli alüminium oksidi gövdəsinə birləşdirir. Bu dizayn xarici vakuum yastıqlarını aradan qaldırır və vahid tutma qüvvəsi ilə lövhənin birbaşa tutulmasına imkan verir. Materialın yüksək əyilmə gücü (361 MPa) və sərtliyi (16 GPa) təkrarlanan vakuum dövrləri altında uzunmüddətli ölçülü sabitliyi təmin edir. Yastıq sahəsi boyunca düzlük 10 μm daxilində saxlanılır və lövhənin gərginliyinin və qırılmasının qarşısını alır. OEM robot qolları ilə asan inteqrasiya üçün vakuum portları arxa montaj flanşında yerləşir.
-
Statik Həssas Plitələr İşlənməsi üçün ESD-Təhlükəsiz Alüminium Oksid Seramik Hissələri
St.Cera şirkətinin ESD (elektrostatik boşalma) üçün təhlükəsiz alüminium oksidi keramika hissələri, xüsusi dopinq və ya örtük prosesi vasitəsilə əldə edilən 10⁶–10⁹ Ω/kv xüsusi səth müqaviməti ilə 99,8% yüksək təmizlikli Al₂O₃-dan istehsal olunur. Bu hissələr həssas yarımkeçirici lövhələrə və cihazlara elektrostatik zərərin qarşısını alaraq statik yükü effektiv şəkildə dağıdır. Əsas material yüksək əyilmə möhkəmliyini (361 MPa), sərtliyini (16 GPa) və dielektrik möhkəmliyini (15 × 10⁶ V/m) saxlayır. ESD üçün təhlükəsiz keramika hissələrinə son effektorlar, qaldırıcı sancaqlar, istiqamətləndirici raylar və FAB avtomatlaşdırması üçün xüsusi qurğular daxildir.
